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鈦升華泵
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產品簡介

鈦升華泵

鈦升華泵(TSP)一般會同離子泵一起協同裝配,用來進一步提高真空系統的真空度。特別是針對一些特定的氣體,如H2O, CO, CO2 和O2等具有非常好的抽氣表現。鈦升華泵通過電加熱鈦絲產生鈦升華物,這些鈦升華物會在真空系統內部形成膜層并同一些氣體相互作用,從而進一步提高真空系統的真空度。

 

不同溫度下鈦膜層的最大抽氣速度l/s cm-2

 

典型指標

 

SUBLI-CON51 鈦升華泵控制器

 

典型指標

 

鈦升華泵集成方案

VACOM鈦升華泵產品除了獨立提供以外,還可以同離子泵集成以組合泵的形式提供或者同真空系統集成在一起。

原廠介紹

VACOM Vakuum Komponenten&Messtechnik GmbH公司成立于1992年,是一家世界領先的真空器件和系統設備供應商。VACOM公司致力于為分析,半導體,電子,高能物理,冷原子等領域的客戶提供高性能的真空產品,包括離子泵,鈦升華泵,真空穿通件(光/電)等。另外,VACOM公司還可根據客戶需求定制化的真空系統方案。


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